32.852 М 74 Мокеев, О. К. Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: Учебник [Текст] / О. К. Мокеев. - М : Высш. шк., 1985. - 312 с. - 0.60 р. Рубрики: Электроника--полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): химическая обработка Экземпляры всего: 1 ОЗ (1) Свободны: ОЗ (1) |