Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32.841я73/И 37 Заглавие : Измерение и контроль в микроэлектронике Выходные данные : М. : Высш. шк. , 1984 Колич.характеристики :367 с.: ил Серия: Учеб. и учеб. пособия для студентов спец . вузов Цена : 1.00, р. ББК : 32.841я73 Предметные рубрики: Учебное пособие для спец. вузов Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника, учебники и пособия Экземпляры :ЧЗ(1) Свободны : ЧЗ(1) Доп.точки доступа: Сазонов , А.А. \ред.\; Дубовой, Н.Д. \сост.\